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Dünnschichten

Piezoelektrische Dünnschichten: Mit dem richtigen Timing zu besserer Elektronik

Verfasst von ictk am Mi, 04. Juni 2025 - 12:31
Dünnschichten
Forschung & Entwicklung
Empa
Argon-Plasma in der Vakuumkammer beim Magnetron-Sputtern, mit dem Substrat in der Bildmitte. — © Empa

Wenn Bruchteile von Sekunden entscheiden: Empa-Forschende haben ein Verfahren für High-Tech-Dünnschichten entwickelt, in dem ein ausgeklügeltes Timing hochwertige funktionale Schichten bei niedriger Prozesstemperatur ermöglicht. Anwendungen für die neue Methode gibt es sowohl in der Halbleiter-Industrie als auch in künftigen Quanten- und Photonik-Technologien.

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