In der südchinesischen Millionenmetropole Shenzhen, wo sich unter anderem auch der Hauptsitz des IT-Riesen Huawei befindet, haben Wissenschaftler in einem Hochsicherheitslabor den Prototypen einer sogenannten EUV-Maschine gebaut, die hochmoderne Halbleiterchips herstellen kann. Dabei handelt es sich um eine Technologie, der die Vereinigten Staaten sei Jahren den Chinesen den Zugang verwehre. Insiderkreise sprechen von Chinas "Manhattan-Projekt", das Teil der von Staats- und Parteichef Xi Jinping vorangetriebenen Strategie zur technologischen Selbstversorgung ist, wie die Nachrichtenagentur Reuters berichtet.
Der Prototyp sei anfangs 2025 fertiggestellt worden und werde jetzt getestet. Er fülle fast eine gesamte Fabrikhalle, heisst es. Gemäss den Insidern wurde er von ehemaligen Ingenieuren des Halbleiterkonzerns ASML gebaut, die die EUV-Maschinen des niederländischen Unternehmens nachkonstruiert haben. Die Anlage sei funktionsfähig und erzeuge bereits das für die Lithographie-Technik nötige extrem ultraviolette Licht, habe bislang aber noch keine funktionsfähigen Chips produziert.
Hintergrund dazu ist, dass EUV-Maschinen im Zentrum eines technologischen Kalten Krieges zwischen China und dem Westen stehen. Sie nutzen extreme ultraviolette Lichtstrahlen, um Schaltkreise zu ätzen, die tausendfach dünner als ein menschliches Haar sind. Bislang beherrscht nur ASML diese Technologie, eine Maschine kostet rund 250 Millionen Dollar und ist unerlässlich für die Herstellung der Chips von Konzernen wie Nvidia oder TSMC. ASML benötigte fast zwei Jahrzehnte und Milliardeninvestitionen, bis die Technologie marktreif war. Noch im April hatte ASML-Chef Christophe Fouquet erklärt, China werde "viele, viele Jahre»" brauchen, um aufzuschliessen. Die Existenz des Prototyps zeigt jedoch, dass China schneller vorankommt als erwartet – trotz grosser Hürden, etwa bei der Nachbildung hochpräziser optischer Systeme westlicher Zulieferer wie Zeiss. Den Insidern zufolge konnte China den Prototyp auch mithilfe von Bauteilen aus älteren ASML-Maschinen aufbauen, die über Zweitmärkte beschafft und zerlegt wurden. Ein Team von rund 100 Hochschulabsolventen arbeitet unter strenger Überwachung daran, Komponenten nachzubauen. Ziel der Regierung sei es, ab 2028 funktionsfähige Chips herzustellen. Projektbeteiligte halten 2030 für realistischer – immer noch Jahre früher als von Analysten erwartet.
Eine Schlüsselrolle beim Projekt spielt der chinesische Technologiekonzern Huawei, der ein landesweites Netzwerk aus Unternehmen und staatlichen Forschungseinrichtungen koordiniert. Tausende Ingenieure seien beteiligt, sagten mehrere Insider. Sie sprachen von Chinas Version des "Manhattan-Projekts", des streng geheimen US-Programms zur Entwicklung der Atombombe während des Zweiten Weltkriegs. Ziel der chinesischen Bemühungen sei es, moderne Chips vollständig auf in China entwickelten Maschinen zu produzieren und die USA vollständig aus seinen Lieferketten zu verdrängen.
